各市人民政府，省政府各厅委、直属机构，各有关单位：
　　《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》已经省政府同意，现印发给你们，请认真贯彻执行。
　　辽宁省人民政府办公厅
　　2022年11月24日
　　(此件公开发布)

　　辽宁省培育壮大集成电路装备
　　产业集群若干措施

　　为进一步加快推进我省集成电路装备产业发展，培育壮大集成电路装备整机和关键零部件产业，根据集成电路装备产业集群发展目标，制定如下措施。
　　一......